可对各种平面、凹面、凸面、非球面镜片进行高精度的曲面分析和曲率拟合，尤其对微曲率镜片的检测精度极高，可达曲率半径的0.1%精度，并且可拟合出波前，对镜片面形误差进行评估，同时还可对球面、非球面等镜片曲面进行高精度的逆向拟合，各种反射镜、曲面镜，测量表面反射角度及误差分布。

    该系统可对任意的镜面曲面进行面型误差的检测，轴向精度高于1μm。用于曲面缺陷、变形量的测试和评估有很大的作用，并可以指导曲面修复。