测试结果:镜片的理想曲率为3200mm,实测点数为70万,曲率为3228.25mm,在0.05mm的步进情况下仍可得出理想平滑曲线。
测试图片如下:
实测反射镜
实测设备
实测软件截图
最佳曲率拟合界面
最佳曲率情况下的曲面误差分布
通过实际的测试,可得出如下结论:
①:使用SHF-GLA 高精度表面检测设备,该凹面镜实测点数可达70万点。
②:测试结果上:拟合最佳曲率为3228.25mm,拟合出的最佳曲率有效位数可达0.05mm,这种情况下曲面误差的RMS为22.59μm,误差峰峰值为82.9μm。