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硅晶外延片翘曲度检测

    

    外延是半导体工艺当中的一种。外延片就是在衬底上做好外延层的硅片。翘曲度用于表述平面在空间中的弯曲程度,在数值上被定义为翘曲平面在高度方向上距离最远的两点间的距离。翘曲变形是评定产品质量的重要指标之一。

    鉴影光学高精度面形仪是一种镜面曲率半径及面形的非接触检测系统,采用完全自主开发的ATIMP pro图像处理软件可在5秒内对镜面曲面上数十万点进行计算分析,给出精度高达0.01%的曲率检测结果及nm精度的面形数据,满足现今高级别应用中的各种需求测量。稳定的结构光源,能实现大口径的样品测量。材料方面可检测普通玻璃、亮面模具,碳化硅等具有镜面效果的曲面。开放通讯接口,即可配合自动化设备实现在线检测,也可提供完整的自动化解决方案。且费用大大降低,测量过程简便易行。

     

检测案例:

      检测对象:6寸硅晶外延片两个

      分析区域:140mm

      检测时间:20秒

      检测结果: