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光学曲率/面形仪
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光学面形仪- SHF中型

高精型设备 SHF-GMB1

产品检测案例1:透明玻璃球面镜检测案例

产品检测案例2:手机屏表面检测


产品概况:
鉴影光学SHF-GM系列光学曲率仪/面形仪是一种镜面曲率半径及面形的非接触检测系统,采用完全自主开发的ATIMP pro图像处理软件可在5秒内对镜面曲面上数十万点进行计算分析,给出精度高达0.01‰的曲率检测结果及nm精度的面形数据,满足现今高级别应用中的各种需求。
产品特点:

产品特点:

多点非接触测量,精度高

非接触检测,避免对工件表面的损伤

■ 检测范围广,尺寸限度高

曲率R范围:>100mm

■ 适合在线检测

开放通讯接口,可配合自动化设备实现在线检测;检测数据分析,统计良品率

■ 结果可指导加工

根据镜片表面质量分布云图给出加工作业指导

■ 易用性好

一次性设置参数,一键检测即可;且不需要标准镜片进行对比,可直接对各种曲面镜片进行非接触检测


应用领域 :主要应用于镜片、具有反射的连续曲面、玻璃等表面曲率半径、面形检测。该通用设备主要检测面积大(6-160mm的镜片产品。

■光学镜片检测:

可对各种平面、凹面、凸面、非球面镜片进行高精度的曲面分析和曲率拟合,尤其对微曲率镜片的检测精度极高,可达曲率半径的0.1-0.5%的精度,并且可拟合出波前,对镜片面型误差进行评估



各种反射镜、曲面镜,测量表面面型误差分布


■曲面检测

系统可对任意的曲面镜面进行面型误差的检测,轴向精度高于1nm。用于曲面缺陷、变形量的测试和评估,并指导曲面修复



硅片表面,镜面模具,手机屏幕

其他具有镜面效果的被测物体,测量表面缺陷、质量检测等


技术指标:

SHF-GM 系列光学曲率/面形仪

高精型SHF-GMB

系列名称

SHF-GMB1

功能

曲率半径检测

曲面3D分布图

辅助加工功能

一键测量功能

双向调整台

检测
模块

平面

球面

非球面

双曲

抛物面

自由曲面

科研模块

检测
范围

测量曲率半径范围,mm

R100

镜片尺寸,mm

6-160

对应平面尺寸,mm

10-100

反射率

1%

镜片材质

不限

曲率
精度

曲率精度

0.01

重复精度

0.002

面形
精度

PVnm

100

RMSnm

20

图像
系统

图像采集系统

ATIAS-pro

最大采集像素点数

130

最快采集时间

5s

图像处理系统

ATIMP pro-V1.1

最快处理时间

3s

数据
分析
系统

规格值判断

良品率统计

良品率实时统计及显示

数据自动存储

在线检
测功能

自动化接入系统

数据接口

环境
条件

温度

10-40

湿度

10%-80%

● 配置 □可选配