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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所标准样片检测
测试背景:为确认设备精度,根据提供的标准样片进行检测数据的对比
使用设备:高精度聚光镜条纹检测设备
设备型号:AncientO SHF-CP-34-A1
测试目的:通过实际设备进行测试,并与标准设备对比,对设备精度进行验证

测试结果:设备精度达到微弧度级


测试图片如下:


标准检测样片


采集图片



测试结果,最大值为10μrad的显Slope误差分布


Slope误差分布(去除边框),均方根为6.11μrad


表面的标准Slope RMS分布,rms值为6.56μrad(长光所数据)


通过实际的测试,可得出如下结论:

通过该镜片评估系统误差,采用的评价方式为Slope RMS,与标准数据对比具有较好的一致性,实测精度在μrad级。