测试结果:实测50片,其中不良品合计3片
测试图片如下:
实测样片图片
1、样片①
斜率误差分布
拟合聚光光斑与理论值的差异
2、样片②
斜率误差分布
拟合聚光光斑与理论值的差异
3、样片③
斜率误差分布
拟合聚光光斑与理论值的差异
4、样片④
斜率误差分布
拟合聚光光斑与理论值的差异
5、样片⑤
斜率误差分布
拟合聚光光斑与理论值的差异
测试结果整理:
序列 |
计算点数 |
斜率误差 |
截断效率 |
光学面积 |
序列 |
个 |
RMS/mrad |
% |
㎡ |
① |
352158 |
1.718 |
99.93% |
0.826 |
② |
352059 |
1.683 |
99.73% |
0.826 |
③ |
317075 |
1.496 |
99.55% |
0.744 |
④ |
342041 |
1.82 |
99.63% |
0.802 |
⑤ |
350002 |
4.125 |
93.25% |
0.821 |
通过测试,⑤号样片误差大,其余样片误差均在2mrad以内,可满足使用要求。