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大型透明凹面镜曲率检测
测试背景:曝光机用大型的反射镜质量直接影响曝光的使用效果,其曲率精度长期以来都难以精确测量。
使用设备:标准高精度表面检测设备
设备型号:AncientO SHF-GLA
测试目的:测量镜片的曲率,并给出镜片表面的误差分布

测试结果:镜片的理想曲率为3200mm,实测点数为70万,曲率为3228.25mm,在0.05mm的步进情况下仍可得出理想平滑曲线。


测试图片如下:




实测反射镜




实测设备




实测软件截图




最佳曲率拟合界面




最佳曲率情况下的曲面误差分布



通过实际的测试,可得出如下结论:

①:使用SHF-GLA 高精度表面检测设备,该凹面镜实测点数可达70万点。

②:测试结果上:拟合最佳曲率为3228.25mm,拟合出的最佳曲率有效位数可达0.05mm,这种情况下曲面误差的RMS为22.59μm,误差峰峰值为82.9μm。